Ausstattung für die PVD-Dünnschichtentwicklung
Der Fachbereich „PVD-Technologien“ verfügt über eine umfangreiche Ausstattung, um innovative Forschung im Bereich der PVD-Dünnschichttechnologie zu betreiben. Für die Schichtsynthese stehen hochmoderne PVD-Beschichtungsanlagen zur Verfügung, die die Verfahrensvarianten der Magnetron-Kathodenzerstäubung sowie des kathodischen Lichtbogenverdampfens im industriellen Maßstab umfassen. Um die Struktur-Eigenschaftsbeziehungen der abgeschiedenen PVD-Dünnschichten eingehend zu erforschen, nutzen die wissenschaftlichen Mitarbeiter*innen Analytikmethoden und Prüfverfahren für die Schichtcharakterisierung. Im Folgenden sind sowohl die vorhandenen Anlagen als auch die Analysegeräte am Lehrstuhl für Werkstofftechnologie aufgeführt, die für die Synthese und Untersuchung der PVD-Dünnschichten genutzt werden:
