David Kokalj, 2025
| Titel | Synthese nanostrukturierter Dünnschichten mittels Nanopartikeleindüsung am Beispiel löslicher Systeme |
| Autor/Autor | David Kokalj |
| Verleger | Vulkan Verlag GmbH |
| Erscheinungsjahr | 2025 |
| Gesamttitel | Werkstofftechnologische Schriftenreihe ; Band 31 |
| Hochschulschrift | Zugl.: Dortmund, Technische Universität Dortmund, 2025 |
| ISBN | 978-3-8027-8838-3 |
| Sprache | Deutsch |
| Schlagwörter | Chromnitrid ; Titannitrid ; Nanokomposit ; Dünne Schicht ; Herstellung ; PVD-Verfahren ; Tribologie |
| Bezugsquelle | 31,50€ beim Vulkan-Verlag |
Kurzfassung
In der vorliegenden Arbeit wird ein hybrider Ansatz zur Erzeugung von Nanokompositschichten untersucht, bei dem beide nanokristallinen Phasen zeitgleich aber lokal getrennt hergestellt und erst auf dem zu beschichtenden Substrat kombiniert werden. Dazu werden Nanopartikel in einem atmosphärischen Lichtbogenreaktor synthetisiert und mittels eines aerodynamischen Linsensystems in die wachsende PVD-Schicht eingebettet. Am Beispiel der Systeme CrN und TiN, welche industriell relevante Schichtsysteme darstellen, konnte aufgezeigt werden, dass mit dem gewählten Ansatz nc-TiN/nc-CrN Nanokompositschichten hergestellt werden können.
