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Fakultät Maschinenbau
Rasterelektronenmikroskopie

Feldemissionsrasterelektronenmikroskop Fa. Jeol

Die Kombination eines Rasterelektronenmikroskopes mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer (EDX-Analyse) ermöglicht neben der morphologischen und topographischen Untersuchung von glatten und rauen Oberflächen bei geringen sowie höheren Vergrößerungen auch die qualitative und quantitative Elementanalyse im Mikrobereich. Zusätzlich besteht die Möglichkeit mit dem EBSD-Detektor den kristallinen Aufbau von Werkstoffen (z.B. Charakterisierung der Gitterstruktur, Lage und Orientierung von Kristallen im Raum) zu bestimmen.

Technische Daten

Typ JSM 7001F
Kathode Thermische Feldemissionskathode, in-lens Schottky-Feldemissionskathode
(Hoher Strahlstrom/hohe Strahlstabilität)
Detektoren
  • Sekundärelektronendetektor
  • Rückstreuelektronendetektor
  • EDX-Detektor (Fa. Oxford Instruments, Software INCA)
  • EBSD-Detektor (Fa. HKL/Oxford Instruments)
Beschleunigungsspannung 0,5-30 kV
Auflösung 3 nm / 1 kV; 1,2 nm / 30 kV
Vergrößerung x10 - 1.000.000
Sonstiges
  • Probenschleuse
  • Infrarotkamera
  • Gentle-Beam-Mode (reduziert Aufladungen)

Ansprechperson