CemeCon CC800/9 Custom
Die PVD-Beschichtungsanlage CC800/9 Custom der Firma CemeCon AG ist eine Magnetron-Kathodenzerstäubungsanlage im industriellen Maßstab für die Synthese von multi-funktionalen Dünnschichten. Die Anlage verfügt über insgesamt sechs Magnetron-Kathoden von denen vier wahlweise im dcMS- oder mfMS-Modus und zwei im dcMS- oder HiPIMS-Modus betrieben werden können. Zur zusätzlichen Erhöhung des Ionisationsgrads in dcMS- und mfMS-Verfahren können zwei Hohlkathoden, sogenannte Plasmabooster, zur Einleitung ionisierten Prozessgases in die Beschichtungskammer eingesetzt werden. Auf dem Substrattisch können sowohl eine dc-Biasspannung als auch eine gepulste Biasspannung mit mf- oder HiPIMS-Pulsmustern angelegt werden. Die unterschiedlichen Verfahrensvarianten erlauben die Schichtsynthese von metallischen und keramischen Dünnschichten sowie amorphen Kohlenstoffschichten.
Technische Daten
| Kammermaße: | 850 x 850 x 1.000 mm³ |
| Nutzbarer Beschichtungsraum: | Durchmesser: 400 mm Höhe: 400 mm |
| Beladung des Substrattisches: | max. 250 kg |
| Vakuumsystem: | 2 Turbomolekularpumpen mit vorgeschalteter Drehschieberpumpe |
| Magnetron-Kathoden: | 4 x dcMS/mfMS-Kathoden 2 x dcMS/HIPIMS-Kathoden |
| Targetmaße: | 500 x 88 mm² |
| Plasmabooster: | 2 x Stück montiert in Fronttür |
| Prozessgase: | Argon (Ar), Krypton (Kr) |
| Reaktivgase: | Stickstoff (N2), Acetylen (C2H2), Sauerstoff (O2) |
| Heizung: | 2 x Seitenheizsysteme mit max. 8,8 kW 1 x Mittelheizung mit max. 15 kW |
| Prozesstemperaturen: | max. 500 °C |