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Lehrstuhl für Werkstofftechnologie
Fakultät Maschinenbau
Luftaufnahme der Belegschaft des Lehrstuhls für Werkstofftechnologie © LWT
Schichtgestaltung von TiAlN-Dünnschichten mit angepasstem Eigenspannungszustand

Untersuchung zum Einfluss der Herstellungsbedingungen und des Designs auf die tribo-mechanischen Eigenschaften und Eigenspannungen mehrlagiger PVD-Schichtsysteme

Förderung (Förderzeitraum: 07/2010 - 12/2015)

"Gefördert durch DFG" Logo

Förderkennzeichen: TI 343/34-1

Projektbeschreibung

Im Rahmen dieses Forschungsvorhabens soll grundlegend untersucht werden, wie die Eigenspannungen durch den Mehrlagenschichtaufbau und die technologischen Parameter des Herstellungsprozesses eingestellt werden können, um die Lebensdauer der Schichten zu erhöhen. Hierzu werden nicht nur Eigenspannungswerte der Einzellagen, sondern auch Eigenspannungstiefenprofile des Gesamtsystems ermittelt. Darüber hinaus sollen Eigenspannungstiefenprofile im Substrat vor dem Schichtabscheiden, der Spannungszustand unter Last sowie die Härte und der Verschleiß untersucht werden. Auf Basis der experimentell gewonnenen Erkenntnisse wird ein FE-Modell entwickelt, das die Abhängigkeit des Eigenspannungsverlaufs in der Probe vom Eigenspannungsverlauf im Substrat vor dem Schichtabscheiden und dem Mehrlagenschichtaufbau beschreibt. Mit diesem Modell werden im Rahmen von Simulationsrechnungen Eigenspannungsprofile verschiedener Mehrlagen-Schichtsysteme vorhergesagt und durch Eigenspannungsmessungen validiert. Auf diese Weise soll die Entwicklung neuer Systeme beschleunigt werden.

Eigenspannungszustand Ti/TiAlN-Beschichtungen © LWT
Eigenspannungszustand Ti/TiAlN-Beschichtungen

Veröffentlichungen

  1. W. Tillmann, E. Vogli, S. Momeni: Mechanical and tribological properties of Ti/TiAlN duplex coatings on high and low alloy tool steels. Vacuum 84 (2009) 387–392. doi: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2009.08.001
  2. W. Tillmann, U. Selvadurai-Laßl, E. Vogli, G. Fischer, F. Hoffmann: Röntgenographische Eigenspannungsermittlung am Beispiel von PVD-Multilayer-Beschichtungen. Materials Science and Engineering Technology 41 (2010) 482–488. doi: https://doi.org/10.1002/mawe.201000630
  3. E. Vogli, W. Tillmann, U. Selvadurai-Laßl, G. Fischer, J. Herper: Influence of Ti/TiAlN-multilayer designs on their residual stresses and mechanical properties. Applied Surface Science, 257 (2011) 8550-8557. doi: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2011.05.013
  4. W. Tillmann, T. Sprute, F. Hoffmann, U. Selvadurai: The Influence of Bias Voltage on Tribological Behavior and Residual Stresses of Cr/CrAlN Multilayer Systems. China Surface Engineering 26 (2013) 3.
  5. W. Tillmann, M. Dildrop, T. Sprute: Influence of nitriding parameters on the tribological properties and the adhesion of Ti- and Cr- based multilayer designs. Surface and Coatings Technology 260 (2014) 380-385. doi: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2014.09.017
  6. M.A. Al-Bukhaiti, K.A. Al-hatab, W. Tillmann, F. Hoffmann, T. Sprute: Tribological and mechanical properties of Ti/TiAlN/TiAlCN nanoscalemultilayer PVD coatings deposited on AISI H11 hot work tool steel. Applied Surface Science 318 (2014) 180-190. doi: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.03.026
  7. G. Fischer, U. Selvadurai, J. Nellesen, T. Sprute, W. Tillmann: Analysis of stress gradients in physical vapour deposition multilayers by X-ray diffraction at fixed depth intervals. Journal of Applied Crystallography 47 (2014) 335-345. doi: https://doi.org/10.1107/S1600576713030951
  8. T. Sprute, W. Tillmann, D. Grisales, U. Selvadurai, G. Fischer: Influence of substrate pre-treatments on residual stresses and tribo-mechanical properties of TiAlN-based PVD coatings. Surface and Coatings Technology 260 (2014) 369-379. doi: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2014.08.075

Weitere Projekte

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