JEOL HyperProbe JXA-iHP200F
Beschreibung
Feldemissions-Elektronenstrahlmikrosonde mit EDX, WDX und SXES
Merkmale
- Patentierte In-lens Schottky FEG
Die patentierte, extrem langlebige In-Lens Schottky Plus FEG bietet eine optimierte Strahlstromdichte, welche die Analyse mit variabel und kontinuierlich einstellbaren Sondenströmen von 1 nA bis zu 3 μA ermöglicht. Daneben wird in der Sekundärelektronenabbildung eine sehr hohe Auflösung von 2,5 nm ermöglicht.
- Kombiniertes WDS/EDS-System
Die JEOL Mikrosonde JXA-iHP200F ist mit einem 30-mm²-Silizium-Drift-Detektor (SDD) EDS-System ausgestattet, der in voller Funktionalität in die Mikroskop-Softwareoberfläche eingebunden ist, bspw. mit Live-EDS-Spektren, Live-Mapping, etc. Das JEOL-EDS System ist durch eine variable Blende speziell auf die Auswertung von hohen Zählraten ausgelegt und ermöglicht EDS-Analysen unter WDS-Bedingungen. Zudem können die EDS- und WDS-Daten kombiniert werden. Intelligente Software erlaubt es darüber hinaus, gemessene EDS-Spektren zur automatischen Auswahl der WDS-Kristalle zu verwenden.
- Automatische Schleuse und vielseitige Probenkammer
Die Mikrosonde ist mit einer großen Probenkammer und automatischen Probenschleuse ausgestattet. Dadurch können Proben sicher und schnell ein- und ausgebaut werden und eine Vielzahl von optionalen Erweiterungen integriert werden.
- Soft X-ray Emission Spectrometer (SXES)
Das höchstauflösende System erlaubt die parallele Detektion von Röntgenspektren mit sehr hoher Energieauflösung und ermöglicht neben der Detektion von Li-K- und B-K-Spektren auch die Analyse von Bindungszuständen.
Spezifikationen
Elektronenoptik | |
Elektronenquelle | Schottky-Feldemission |
Beschleunigungsspannung | 1 bis 30 kV |
Probenstrom | 1 pA bis 3 µA |
Strahlstromstabilität | ±0,3% / h; ± 1,0% / 12 h |
Auflösung im SE-Bild | 2,5 nm |
Vergrößerung | x40 bis x300.000 |
Analysesystem | |
Zahl der Spektrometer | 1 bis 5 |
Detektierbarer Elementbereich | 5B bis 92U (optional: Be bis U) |
Wellenlängenbereich | 0,087 bis 9,3 nm |
EDS-System | Serienmäßig, vollständig hard- und software-integriert |