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Fakultät Maschinenbau
Cross Selection Polisher © LWT

Cross Section Polisher

Der JEOL Cross Section Polisher IB-09010CP ist ein einfach zu bedienendes Präparationssystem zur Herstellung von Probenquerschnitten für REM-, EPMA- und Auger-Anwendungen. Weiche, harte und Verbundwerkstoffe können mit einem Minimum an Probenschädigung, -verformung und -verschmierung präpariert werden.

Ein Ar-Ionenstrahl schneidet Querschnitte in praktisch alle Materialien und erzeugt eine saubere, polierte Oberfläche über einen großen Probenbereich.

© RSoC 2014
Quelle: The Royal Society of Chemistry 2014 Nanoscale, 2014, 6,11130–11140 | 11131
  • (a)  Schematic view of the cross-section polishing process: the sample side not protected by the shield plate is polished with            the Ar -ion beam;
  • (b) SEM image of a Si wafer cross-section obtained by the ion-milling polishing method (XY plan).

Spezifikationen

Spezifikationen © LWT

Anwendungsbeispiele

PVD Beschichtung: Ti-TiAlN © LWT
PVD Beschichtung: Ti-TiAlN
Thermische Spritzschicht WC-Co © LWT
Thermische Spritzschicht WC-Co

Ansprechperson