Interatom PVD 20
Die PVD-Beschichtungsanlage Interatom PVD 20 (Baujahr 1987) der Firma Interatom GmbH (heute Oerlikon Balzers Coating Germany GmbH, Bergisch Gladbach, Deutschland) ist mit der kathodischen Lichtbogenverdampfung (engl. cathodic arc evaporation) ausgestattet. Für die Beschichtungen können bis zu vier Arc-Verdampferquellen simultan verwendet werden, um anforderungsgerechte Schichtsysteme herzustellen. Neben metallischen Dünnschichten (z.B. Ti, Cr oder W) können unter Verwendung von Stickstoff als Reaktivgas ebenfalls nitridische Schichtsysteme (z.B. TiN oder CrN) abgeschieden werden. Am LWT wird die Beschichtungsanlage hauptsächlich für die Beschichtung von Pulver für pulverbasierte Herstellungsverfahren und der Applikation von schmelzpunktsenkenden oder auch diffusionsträgen Dünnschichten für das Diffusionslöten eingesetzt.
Technische Daten
| Kammermaße: | Volumen: 130 dm³ Durchmesser x Höhe: 480 x 640 mm, davon nutzbar 190 x 410 mm |
| Beladung des Substrattisches: | max. 350 kg |
| Vakuumsystem: | Drehschieberpumpe: Saugleistung: 75 m³ / Endvakuum: 1x10-3 mbar Diffusionspumpe: Saugleistung: 3000 lt/s / Endvakuum: 1x10-7 mbar |
| Verdampfer: | 3 Stück, 4 Einbaulagen (3 an den Wänden, 1 im Deckel) |
| Energieversorgung: | 27 - 40 V; 35 - 100 A einstellbar |
| Puls Controller: | - Spannung: 0 – 1000 V + Spannung: 0 – 100 V Pulsbereich bis 1000 V, 100 A Frequenz: 0,1 bis 50 kHz Pulsbreite: 0,01 bis 99,99 % |
| Drehantrieb: | mittig im Kammerboden, Drehzahl 0 - 10,5 min-1 |
| Reaktivgase: | Stickstoff (N2), Acetylen (C2H2), Sauerstoff (O2) |
| Prozesstemperaturen: | 180 - 500 °C |