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Sputter Anlage der Fa. BALZERS UNION

sputter_anlageDie Sputteranlage der Firma BALZERS UNION dient zur Herstellung leitender Schichten auf Proben zur Vermeidung störender Aufladungen an der Präparationsoberfläche. Dabei bietet das Sputtern gegenüber der Bedampfung folgende Vorteile:
  • Gleichmäßige Belegung auch bei stark zerklüfteten Probenoberflächen
  • Keine Objektbewegung erforderlich, da die Metallatome beim Aufstäuben aus allen Richtungen auf die Probe gelangen
  • Geringe Probenerwärmung durch Fernhaltung der geladenen Teilchen vom Substrat und durch kühlbaren Objekttisch
  • Vom Einlegen bis zur Entnahme des fertig beschichteten Präparates vergehen nur ca. 2-5 Min.

Die BALZERS UNION zeichnet sich unter anderem durch folgende Eigenschaften aus:

  • Automatische Flutung
  • Automatischer Ablauf mit vorgewählter Sputter-Zeit
  • Schnellwechseltargets
  • Schreiberausgänge für Vakuum und Glimmstrom
  • Stromdurchführung und Anschlüsse für Schichtdickenmesseinrichtung

 

Technische Daten:

Leistung 2,5 kV bei 40 mA
Probenkammer Pyrex-Zylinder, ø innen 108 mm x Höhe 106 mm
Probentisch ø 95 mm, höhenverstellbar ±35 mm bei Mittelstellung
Targets Schnellwechseltargets mit Gewinde M6
Aufstäubrate ca. 600 Angström Gold pro Minute bei einem Abstand Anode/Kathode von 20 mm in Argonatmosphäre
Beschichtete Fläche ø 50 mm

Nebeninhalt

Kontakt

Foto von Dipl.-Ing. (FH) Lydia Reisch-Lang

Dipl.-Ing. (FH) Lydia Reisch-Lang

Telefon: 0231 755-4791

Adresse:

Lehrstuhl für Werkstofftechnologie
Leonhard-Euler-Str. 2
44227 Dortmund
Deutschland

Raum 109