Die Kombination eines Rasterelektronenmikroskopes mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer (EDX-Analyse) ermöglicht neben der morphologischen und topographischen Untersuchung von glatten und rauen Oberflächen bei geringen sowie höheren Vergrößerungen auch die qualitative und quantitative Elementanalyse im Mikrobereich. Zusätzlich besteht die Möglichkeit mit dem EBSD-Detektor den kristallinen Aufbau von Werkstoffen (z.B. Charakterisierung der Gitterstruktur, Lage und Orientierung von Kristallen im Raum, Texturanalyse) zu bestimmen. Aufgrund der großen Kammer des Elektronenmikroskopes können große Bauteile direkt und vollständig ohne Entnahme eines Probenstücks untersucht werden.
| Typ | Mira VP |
| Detektoren |
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| Probengröße | max. Durchmesser 600 mm, max. Höhe 600 mm |
| Probengewicht | max. 300 kg |
| Vakuumkammer LxBxH | 1400 x 1200 x 1300 mm³ |
| Beschleunigungsspannung | 0,3 - 30 kV |
