Das InfiniteFocus ist ein optisches 3D-Vermessungsgerät zur Bestimmung von Oberflächentopografien. Einsatzgebiet dieses Oberflächenmess-gerätes ist die Tiefenanalyse und 3D-Visualisierung. Der Benutzer erhält folglich sowohl eine gestochen scharfe 3D-Rekonstruktion als auch die entsprechenden Tiefeninformationen seiner Probe. Das berührungslose und zerstörungs-freie Messsystem erlaubt es sogar steile Flanken, große Rauheiten und Kratzer im Nanometerbereich mit einer Auflö-sung von bis zu 20 nm zu messen.
| Typ | Infinite Focus |
| Optisches 3D Messsystem |
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| Vergrößerung | 25:1 bis 1000:1 |
| Auflösung | 20 nm |
| Software |
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| Objektive | Einheit | 2,5x | 5x | 20x | 50x | 100x |
| Laterale Auflösung | μm | 3,3 | 1,6 | 0,5 | 0,2 | 0,10 |
| Vertikale Auflösung | μm | 5-50 | 0,8-8,0 | 0,1-1,0 | 0,05-0,50 | 0,02-0,20 |
| Maximale Abtasthöhe | mm | 7-70 | 1,3-13 | 0,15-1,5 | 0,07-0,70 | 0,03-0,30 |
