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PVD-Prozesse

PVD-Technologie:

Die PVD-Forschungsabteilung des Lehrstuhls für Werkstofftechnologie beschäftigt sich sowohl mit grundlagenbasierten Themenstellungen der Werkstoff- und Schichtentwicklung als auch der anwendungsbasierten Untersuchung des Einsatzverhaltens von Dünnschichtsystemen. Dies umfasst sowohl die anforderungsspezifische Entwicklung tribologischer Beschichtungen für die spanende Fertigung, den Werkzeug- und Formenbau als auch die reibungsarme Beschichtung hochbelasteter Bauteile. Darüber hinaus stellt die Entwicklung intelligenter Dünnschichtsysteme (Sensorschichten) zur online Diagnostik in Fertigungsprozessen eine gezielte Er-weiterung für Dünnschichtsysteme dar. Für die Beschichtung stehen modernste hochenergetische PVD-Verfahren der Kathodenzerstäubung oder hybride Prozess-technologien zur Schichtsynthese in industriellen Maßstab zur Verfügung, welche die endkonturgetreue Abscheidung auf komplexen Oberflächengeometrien ermöglichen.

 

Aktuelle Forschungsschwerpunkte sind:

  • Verschleiß- und reibungsarmen Diamant-ähnlichen Kohlenstoffschichten (DLC)
  • Multilagige Ti/TiAlN (bzw. Cr/CrAlN)-Schichtsysteme für tribologische Anwendungen in der Warmumformung
  • Nanostrukturierte bionische Dünnschichten zur Verschleiß- und Reibungsminderung von Werkzeugen zur Feinblechverarbeitung
  • Entwicklung und Einsatzqualifizierung temperatursensorischer Beschichtungssysteme zur Applikationen auf Zerspanwerkzeuge
  • Einflussanalyse von Herstellungsbedingungen und Design hinsichtlich Eigenspannungen in mehrlagigen PVD-Schichtsystemen
  • Selbstschmierende TiAlVN-Schichten für Anwendungen mit tribologischen Belastung
  • Optimierung und Applikation von harten TiBCN-Schichten auf Zerspanwerkzeugen

Analytik:

 

Analytik Beispiel 01

Analytik Beispiel 02

3D-Aufnahme einer strukturierten Oberfläche

Nanoindentereindruck

   

Anlagen:

 

Arc-PVD-Anlage_tn

PVD-Anlage-CC800_tn

Arc-PVD-Anlage (Fa. Metaplas)

Magnetronsputter-Anlage CC800/9sinox ML (Fa. Cemecon)

   

Funktionelle Oberflächen:

 

Oberflächen Beispiel 01

Oberflächen Beispiel 02

Morphologie eines multilagigen PVD-Schichtsystems

Topographie einer PVD-Schicht