Der Cross-Section-Polisher IB-09010CP von der Fa. Jeol ist ein einfach zu bedienendes Präparationssystem zur Herstellung von Probenquerschnitten für REM-, EPMA- und Auger-Anwendungen. Weiche, harte und Verbundwerkstoffe können mit einem Minimum an Probenschädigung, -verformung und -verschmierung präpariert werden.
Ein Ar-Ionenstrahl schneidet Querschnitte in praktisch alle Materialien und erzeugt eine saubere, polierte Oberfläche über einen großen Probenbereich in einem einzigen Probengang. Dies schließt sowohl schwierig zu polierende Materialien wie Kupfer, Aluminium, Gold, Lötzinn und Polymere, als auch schwierig zu schneidende Materialien wie Papier, Keramik, Glas und Waschpulver ein. Durch den streifenden Einfall des Ionenstrahls wird dabei kein Argon in die Probenoberfläche implantiert.
Prinzipskizze ( Quelle: Fa. Jeol ):
Ion Accelerating Voltage | 2 to 8 kV |
Ion Beam Diameter | 500μm or more (full width at half max) |
Milling Speed |
100μm/h (6kV) 300μm/h (8kV) |
Typical Specimen Size | 11mm(W)x10mm(L)x2mm(T) up to 25mm diameter with Rotation Holder |
Specimen Movement Range | X-axis ±10mm; Y-axis ±3mm |
Specimen-rotation Angle Adjustment Range | +5° |
Specimen Milling Swing Angle |
+30°
Rotation Optional |
Operation | Touch panel |
Gas | Argon (flow rate controlled by mass flow controller) |
Pressure Measurement | Penning gauge |
Main Vacuum Pump | Turbomolecular pump |
Backing Pump | Rotary pump |
Dimensions and Weight
Basic Unit Rotary Pump |
545mm(W)x550mm(D)x420mm(H), 64kg 150mm(W)x427mm(D)x230mm(H), 16kg |
Prinzipskizze (Quelle: Fa. Jeol): |
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PVD-Multilayer-Schicht, präpariert mit dem Cross-Section-Polisher IB-09010CP: |
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